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Machine de nettoyage haute pression pour plaquettes SM-HPC-300
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Machine de nettoyage haute pression pour plaquettes SM-HPC-300

Modèle de produit :

SM-HPC-300

Description du produit

Cet équipement est un dispositif de traitement humide de haute précision et de haute performance utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les domaines des emballages avancés et des emballages au niveau des plaquettes. Il est employé pour le nettoyage des flux et des particules lors des procédés de bumping, et peut également être utilisé pour le nettoyage des flux et des particules dans les espaces inférieurs dans les applications CoWoS.
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Détails du produit

Caractéristiques de l'appareil :

1. Obtenir une excellente performance de nettoyage lorsqu'il est utilisé avec de l'eau déionisée chaude, des systèmes à deux fluides, de l'eau CO₂ ultra-pure et de l'azote N₂.

2. Buses haute pression spécialement conçues pour ne pas endommager les structures délicates à la surface de la plaquette, telles que les piliers en cuivre et les billes de soudure.

3. Manipulateur à double bras et dispositif de chanfreinage double pour améliorer le débit horaire de nettoyage.

4. La pression de la buse peut atteindre jusqu'à 4 000 PSI et l'angle est réglable.

5. Compatible avec les plaquettes de 8/12 pouces

6. Compatible avec AGV et OHT, et prend en charge la connectivité SECS/GEM.

 

Paramètres de l'appareil

Informations de base À double chambre ou à quadruple chambre Capacité horaire ≥24 pièces/heure/cavité
Dispositif de chargement et de déchargement Boîtes à plaquettes en boîte ouverte, FOUPs, SMIFs, etc. Flux de processus HPC, Pulvérisation douce, HDI, Traitement à l'azote
Bras robotique Bras robotique à double bras à unité unique Méthode de séchage Séchage à l'azote, séchage rotatif
Taille de la plaquette De 6 à 12 pouces Utilisation des équipements 95%
Épaisseur de la plaquette Épaisseur standard Taux de casse des plaquettes Moins de 1/20 000
Chuck Mandrin à vide / Mandrin de type pince Empreinte d'équipement 1850 mm de long × 1992 mm de large × 1943 mm de haut (sans compter l'entrée et la sortie d'air)

 

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