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Station de nettoyage manuelle SM-MCP-200
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Station de nettoyage manuelle SM-MCP-200

Modèle de produit :

SM-MCP-200

Description du produit

Équipement spécialisé pour le nettoyage et le traitement manuels humides des plaquettes. Sa fonction principale est de permettre aux opérateurs d'utiliser des solvants organiques (tels que l'acétone, l'éthanol, le NMP, etc.) ou des solvants inorganiques (SPM, SC₁, SC₂) afin d'éliminer les contaminants de la surface des plaquettes – tels que le photoresist, les particules, les impuretés métalliques et les résidus organiques – grâce à des procédures manuelles spécifiques comprenant le trempage, le rinçage et l'essuyage.
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Détails du produit

Caractéristiques de l'appareil :
1. Équipé de 3 réservoirs en quartz et de 2 réservoirs QDR en PVDF

2. Porte-cartes à gaufrettes standard lavable, 3 pouces/6 pouces/8 pouces, spécialement conçu *1

3. Unité de protection contre les incendies en option : détection IR (point d'éclair) / TH (détection thermique), certification 3C

4. La porte d'accès avant de l'équipement présente une conception intégrée de type pousser-et-glisser (avec une vitre transparente résistante aux explosions).

5. Deux systèmes d'échappement à haute capacité, valves réglables manuellement, alarme de basse pression d'air et manomètre de pression différentielle.

6. Verrouillage de sécurité pour le chauffage, protection contre les fuites

 

Paramètres de l'appareil

Type de spécification Banc de nettoyage organique / Banc de nettoyage inorganique Emplacement QDR Quantité : 2 ; conception réelle basée sur le volume ; matériau PVDF.
Dimensions de la machine 1800 mm × 1200 mm × 1950 mm Nom du médicament DIW
Réservoir de processus Quantité : 3, Volume : 16 L, Fabriqué en quartz Température de processus RT
Nom du médicament Liquide organique Surveillance du niveau de liquide Capteur de niveau N₂ à plusieurs étapes
Température de processus RT～80℃ ±3℃ Valeur de résistance à l'eau Compteur externe de résistance à l'eau
Méthode de chauffage Chauffage au bain-marie Spray supérieur Pulvérisation gauche-droite
Détection de température PT100*2 Bulles de N₂ La distribution des bulles au fond du réservoir est uniforme, et la taille des bulles peut être réglée à l'aide d'un régulateur de pression manuel.
Surveillance du niveau de liquide Capteur de niveau N₂ à plusieurs étapes Structure en tranchée Débordement + Descendre rapidement
Couvercle de fente Couvercle de cuve en PVDF manuel Temps de tri rapide La totalité du réservoir peut être vidée en 5 secondes.
Matériel de soupapes et de tuyauterie PFA Approvisionnement en eau L'approvisionnement en eau de l'usine a effectué le remplissage supérieur et inférieur.
Échographie 40 kHz, 600 W (puissance réglable) Émission Installations de traitement par gravité — canalisations séparées pour les eaux usées liquides et l'eau recyclée.
Mode d'alimentation en acide Alimentation manuelle en acide /
Émission Évacuation par gravité pour les installations de l'usine – les liquides résiduels et les eaux usées circulent dans des canalisations séparées. /

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