Solution

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Laveur SM-800 FOUP

Quel problème cela résout-il : Au cours du processus de fabrication, les plaquettes subissent différentes étapes et sont transférées à l'aide de boîtes FOUP. La propreté des boîtes FOUP influence directement le rendement du produit ; elles doivent donc être nettoyées.
Quelle industrie : Fabrication de plaquettes
Quel objet : Boîte FOUP